Kierownik Sprzedaży:Andrea
E-mail: Andrea@tmaxlaboratory.com
Wechat: 18250801164
Laboratoryjny system CVD z dwustrefowym obrotowym piecem rurowym 1500-1500C
System CVD składa się z układu zasilania gazem + pieca rurowego + układu próżniowego, a maksymalna temperatura może osiągnąć 1200 stopni, 1400 stopni, 1600 stopni i 1700 stopni. Strefa ogrzewania może być strefą jednotemperaturową, strefą dwutemperaturową, strefą trzytemperaturową itp. Ostateczna próżnia może osiągnąć 10-3 Pa. System zasilania gazem może być przepływomierzem masowym lub przepływomierzem pływakowym do regulacji przepływu. Liczba kanałów miksowania może wynosić 2 kanały, 3 kanały, 4 kanały i 5 kanałów.
Szczegółowe parametry techniczne
Model | 1500-1500-I |
Moc | 9 kW |
Rura | rozmiar |
Dia | 60(OD) X1400 mm Śred. |
Dostarczać | Napięcie |
380V 380 V | Faza |
dwufazowy | Rura |
Rura korundowa: wysoka czystość AIO | ceramika (w tym) 99,5% |
Ogrzewanie | element |
Pierwszy | strefa temperatury: pręt krzemowo-węglowy Druga strefa temperaturowa: pręt krzemowo-węglowy |
Prędkość obrotowa rury pieca | Z bezstopniowym silnikiem o zmiennej prędkości, |
prędkość można regulować w zakresie (1-25 obr./min) | Moc silnika 40W Piec można pochylać pod kątem 0-30 stopni Rodzaj napędu Pasek zębaty i przekładnia Kontrola tryb Przyrząd do kontroli temperatury programu UAV |
(standard) | 1, 30-stopniowa regulacja temperatury programu inteligentna regulacja PID. |
2. Z ochroną przed przegrzaniem, elektryczny | obwód grzewczy pieca jest automatycznie odcinany, gdy temperatura wynosi |
nadmierna temperatura lub zepsuta (gdy temperatura pieca elektrycznego przekroczy) | 1520 stopni lub przepalona termopara, przekaźnik AC na obwodzie głównym |
zostanie automatycznie odłączony, główny obwód zostanie przerwany. Włączone, włączone | kontrolka na panelu nie świeci, kontrolka OFF świeci, a ochrona jest ograniczona |
piec elektryczny). | 3, z interfejsem komunikacyjnym 485 (standard) |
przy zakupie oprogramowania) | 4, z funkcją ochrony przed wyłączeniem, to |
to jest, gdy zasilanie jest włączone po wyłączeniu zasilania, program | nie zaczyna się od temperatury początkowej, ale od temperatury pieca |
wzrasta od czasu awarii zasilania. | 5, miernik ma funkcję samostrojenia temperatury; |
(trzeba dodatkowo zapłacić za wymianę | importowanych instrumentów, opcjonalnie) |
Instrument FP93 |
|
Instrument EUROTHERM | Ekran dotykowy |
instrument | (shimaden, Japonia) |
Materiał pieca
1. Wysokiej jakości polikrystaliczny tlenek glinu o wysokiej czystości
piec do utwardzania włókien utworzony przez filtrację próżniową.
2. Zastosuj japońską technologię do formowania.
Kontrola
precyzja
+/- 1 ℃
Cyngiel
Przesunięte fazowo
cyngiel
Elektryczny
urządzenie
Zhejiang
Chint
Krzem
kontrolowane
106/16ESEMIKRON
The
najwyższa temperatura w pierwszej i drugiej strefie temperaturowej
1500 ℃
Oceniono
temperatura w pierwszej i drugiej strefie temperaturowej
1400 ℃
Ogrzewanie
wskaźnik
≤20 ℃ / min (można go zmodyfikować w razie potrzeby)
Zalecana
tempo wzrostu temperatury
≤10 ℃ / min
Termoelement
S wpisz pierwszy
strefa temperaturowa
S
wpisz drugi region temperatury
Długość
sekcji grzewczej w pierwszej i drugiej strefie temperaturowej
300+300mm 300+300mm
Długość stałej temperatury
450 mm
Nawiew trójkanałowy Gx-3 (mieszany)
powietrze) system
1.1. Gaz opuszcza butlę, jest
rozprężany przez zawór redukcyjny, przechodzi przez rurkę teflonową
do wlotu układu zasilania gazem, a następnie przechodzi przez strumień masowymiernik do kontroli przepływu gazu, a następnie przechodzi przez zbiornik mieszający gaz i
następnie wchodzi do wlotu pieca. 1.2. 2) | Do mieszalnika gazu dołączony jest manometr, a manometr | dysk wyświetlacza i kontroler przepływomierza protonowego są zainstalowane na tym samym | |
płyta. | 1.3. | ||
Każda linia gazowa jest wyposażona w zawór odcinający wysokiego ciśnienia dla bezpieczeństwa. | 1.4. | ||
Ścieżka gazu przyjmuje precyzyjny przepływomierz masowy gazu, a wnętrze | ścieżka gazowa jest w całości wykonana z rury ze stali nierdzewnej, która ma dobrą korozję | ||
opór. 1.5. | Wszystkie złącza w puszce są połączone za pomocą okuć ze stali nierdzewnej, które mają | dobra szczelność i odporność na wysokie ciśnienie. | |
2. Parametry techniczne: | Kanał pneumatyczny: 3 | ||
Kontrola przepływu gazu: | Miernik przepływu masy. | ||
Wymiary szafki: | 600X600X600mm | ||
Miernik przepływu masy | parametry techniczne: | ||
Interfejs: Φ6 | Wyświetlacz: LED | ||
Temperatura środowiska pracy: 5 ~ 45 ° C | Kontroler przepływu: | ||
Parametry regulatora przepływu protonów Sprawdź ponownie | Rura ze stali nierdzewnej: | ||
Φ6 na zewnątrz X Φ4 | Podciśnienie ciśnieniowe | ||
tabela: -0,1~0,15 MPa, 0,01 | MPa/działkę | ||
Zawór odcinający: Φ6 Kontrola przepływu: PLC inteligentna kontrola | 功率 | 3. Przepływomierz masowy | |
电压 | parametry techniczne: | ||
转速 | Produkt | ||
Nazwa: Kontroler przepływu masowego | Produkt | ||
Opis: typ normalny, obwód analogowy | 6 | ||
Produkt | szczegóły: zwykły, obwód analogowy, gumowa uszczelka, bocznik rurowy, niełatwy do | ||
blok. Główny | wskaźniki: Zakres: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 | SLM (możesz dowolnie wybrać zakres) | |
• | Dokładność: ± 1% FS | ||
• | Liniowy: 0,5% FS | ||
• | Powtarzalność: ± 0,2% FS | ||
• | Czas odpowiedzi: 1S | ||
• | Spadek ciśnienia powietrza: <0,01 MPa | ||
• | Maksymalne ciśnienie: 3MP | • | |
Temperatura środowiska pracy: 5 ~ 45 ° C | • | ||
Sygnały wejściowe i wyjściowe: 0~+5,00V | • | ||
Moc: +15V 50mA -15V 50mA | • |
Wymiary: 158*30*110
•
Waga: 0,9 kg