Laboratoryjny system CVD z dwustrefowym obrotowym piecem rurowym 1500-1500C

Sales Laboratoryjny system CVD z dwustrefowym obrotowym piecem rurowym 1500-1500C

Kierownik Sprzedaży:Andrea

E-mail: Andrea@tmaxlaboratory.com

Wechat: 18250801164

  • :
  • :

Szczegóły produktu  

Laboratoryjny system CVD z dwustrefowym obrotowym piecem rurowym 1500-1500C

System CVD składa się z układu zasilania gazem + pieca rurowego + układu próżniowego, a maksymalna temperatura może osiągnąć 1200 stopni, 1400 stopni, 1600 stopni i 1700 stopni. Strefa ogrzewania może być strefą jednotemperaturową, strefą dwutemperaturową, strefą trzytemperaturową itp. Ostateczna próżnia może osiągnąć 10-3 Pa. System zasilania gazem może być przepływomierzem masowym lub przepływomierzem pływakowym do regulacji przepływu. Liczba kanałów miksowania może wynosić 2 kanały, 3 kanały, 4 kanały i 5 kanałów.


Szczegółowe parametry techniczne

Model

1500-1500-I

Moc

9 kW

Rura

rozmiar

Dia

60(OD) X1400 mm                                     Śred.

Dostarczać

Napięcie

380V                                                                       380 V

Faza

dwufazowy

Rura

Rura korundowa: wysoka czystość AIO

ceramika (w tym) 99,5%

Ogrzewanie

element

Pierwszy

strefa temperatury: pręt krzemowo-węglowy                     Druga strefa temperaturowa: pręt krzemowo-węglowy

Prędkość obrotowa rury pieca

Z bezstopniowym silnikiem o zmiennej prędkości,

prędkość można regulować w zakresie (1-25 obr./min)

Moc silnika

40W

Piec można pochylać pod kątem

0-30 stopni

Rodzaj napędu

Pasek zębaty i przekładnia

Kontrola

tryb

Przyrząd do kontroli temperatury programu UAV

(standard)


1, 30-stopniowa regulacja temperatury programu

inteligentna regulacja PID.

2. Z ochroną przed przegrzaniem, elektryczny

obwód grzewczy pieca jest automatycznie odcinany, gdy temperatura wynosi

nadmierna temperatura lub zepsuta (gdy temperatura pieca elektrycznego przekroczy)

1520 stopni lub przepalona termopara, przekaźnik AC na obwodzie głównym

zostanie automatycznie odłączony, główny obwód zostanie przerwany. Włączone, włączone

kontrolka na panelu nie świeci, kontrolka OFF świeci, a ochrona jest ograniczona

piec elektryczny).

3, z interfejsem komunikacyjnym 485 (standard)

przy zakupie oprogramowania)

4, z funkcją ochrony przed wyłączeniem, to

to jest, gdy zasilanie jest włączone po wyłączeniu zasilania, program

nie zaczyna się od temperatury początkowej, ale od temperatury pieca

wzrasta od czasu awarii zasilania.

5, miernik ma funkcję samostrojenia temperatury;

(trzeba dodatkowo zapłacić za wymianę

importowanych instrumentów, opcjonalnie)

Instrument FP93

Instrument EUROTHERM

Ekran dotykowy

instrument

(shimaden, Japonia)



Materiał pieca

1. Wysokiej jakości polikrystaliczny tlenek glinu o wysokiej czystości

piec do utwardzania włókien utworzony przez filtrację próżniową.

2. Zastosuj japońską technologię do formowania.

Kontrola

precyzja

+/- 1 ℃

Cyngiel

Przesunięte fazowo

cyngiel

Elektryczny

urządzenie

Zhejiang

Chint

Krzem

kontrolowane

106/16ESEMIKRON

The

najwyższa temperatura w pierwszej i drugiej strefie temperaturowej

1500 ℃

Oceniono

temperatura w pierwszej i drugiej strefie temperaturowej

1400 ℃

Ogrzewanie

wskaźnik

≤20 ℃ / min (można go zmodyfikować w razie potrzeby)

Zalecana

tempo wzrostu temperatury

≤10 ℃ / min

Termoelement

S wpisz pierwszy

strefa temperaturowa

S

wpisz drugi region temperatury

Długość

sekcji grzewczej w pierwszej i drugiej strefie temperaturowej

300+300mm                                             300+300mm

Długość stałej temperatury

450 mm

Nawiew trójkanałowy Gx-3 (mieszany)

powietrze) system

1.1. Gaz opuszcza butlę, jest

rozprężany przez zawór redukcyjny, przechodzi przez rurkę teflonową

do wlotu układu zasilania gazem, a następnie przechodzi przez strumień masowy




miernik do kontroli przepływu gazu, a następnie przechodzi przez zbiornik mieszający gaz i

następnie wchodzi do wlotu pieca.

1.2.

2)


Do mieszalnika gazu dołączony jest manometr, a manometr

dysk wyświetlacza i kontroler przepływomierza protonowego są zainstalowane na tym samym

płyta.

1.3.

Każda linia gazowa jest wyposażona w zawór odcinający wysokiego ciśnienia dla bezpieczeństwa.

1.4.

Ścieżka gazu przyjmuje precyzyjny przepływomierz masowy gazu, a wnętrze

ścieżka gazowa jest w całości wykonana z rury ze stali nierdzewnej, która ma dobrą korozję

opór.

1.5.

Wszystkie złącza w puszce są połączone za pomocą okuć ze stali nierdzewnej, które mają

dobra szczelność i odporność na wysokie ciśnienie.

2. Parametry techniczne:

Kanał pneumatyczny: 3

Kontrola przepływu gazu:

Miernik przepływu masy.

Wymiary szafki:

600X600X600mm

Miernik przepływu masy

parametry techniczne:

Interfejs: Φ6

Wyświetlacz: LED

Temperatura środowiska pracy: 5 ~ 45 ° C

Kontroler przepływu:

Parametry regulatora przepływu protonów Sprawdź ponownie

Rura ze stali nierdzewnej:

Φ6 na zewnątrz X Φ4

Podciśnienie ciśnieniowe

tabela: -0,1~0,15 MPa, 0,01

MPa/działkę

Zawór odcinający: Φ6

Kontrola przepływu: PLC

inteligentna kontrola

功率

3. Przepływomierz masowy

电压

parametry techniczne:

转速

Produkt

Nazwa: Kontroler przepływu masowego

Produkt

Opis: typ normalny, obwód analogowy

6

Produkt

szczegóły: zwykły, obwód analogowy, gumowa uszczelka, bocznik rurowy, niełatwy do

blok.

Główny

wskaźniki: Zakres: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10

SLM (możesz dowolnie wybrać zakres)

Dokładność: ± 1% FS

Liniowy: 0,5% FS

Powtarzalność: ± 0,2% FS

Czas odpowiedzi: 1S

Spadek ciśnienia powietrza: <0,01 MPa

Maksymalne ciśnienie: 3MP

Temperatura środowiska pracy: 5 ~ 45 ° C

Sygnały wejściowe i wyjściowe: 0~+5,00V

Moc: +15V 50mA -15V 50mA

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



Wymiary: 158*30*110

Waga: 0,9 kg



Tags :
Leave A Message
If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.
X

Home

Supplier

Leave a message

Leave a message

If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.