Piec 1600C CVD z systemem zasilania gazem i systemem próżniowym

Sales

Kierownik Sprzedaży:Andrea

E-mail: Andrea@tmaxlaboratory.com

Wechat: 18250801164

Szczegóły produktu

Piec PECVD 1600C z systemem zasilania gazem i systemem próżniowym

System PECVD składa się z pieca rurowego, kwarcowej komory próżniowej, systemu próżniowego, systemu zasilania gazem i systemu zasilania częstotliwością radiową. Stosowany głównie do: wzrostu cienkich folii metalowych, cienkich folii ceramicznych, cienkich folii kompozytowych, grafenu itp. Łatwo jest dodawać funkcje i można rozszerzać funkcje, takie jak czyszczenie plazmowe i trawienie. System PECVD ma zalety dużej szybkości osadzania filmu, dobrej jednorodności, wysokiej konsystencji i stabilności.

Szczegółowe parametry techniczne

Model

TL1600-I

Moc

5KW

Rozmiar rury (OD) (mm)

Rura korundowa o wysokiej czystości: 60 mm (średnica rury)

Po każdej stronie umieszczono dwa korki pieca. Korek pieca może blokować promieniowanie cieplne w środku rury pieca i przed nagrzaniem należy go umieścić w odpowiednim miejscu w piecu.

Wymiar

1120X490X855

napięcie zasilania

220 V

faza

jednofazowy

Element grzewczy

Pasek krzemowo-molibdenowy model 1800

Typ kontroli temperatury

Użyj przyrządu do kontroli temperatury programu Yudian (w standardzie)

1. 30-segmentowy program kontroli temperatury z inteligentną regulacją PID.

2. Dzięki zabezpieczeniu przed przegrzaniem obwód grzewczy pieca elektrycznego zostanie automatycznie odcięty, gdy temperatura osiągnie zbyt wysoką temperaturę lub gdy para zostanie zerwana. ON, kontrolka ON na panelu jest wyłączona, kontrolka OFF jest włączona, a piec elektryczny jest chroniony w ograniczonym zakresie).

3. Z interfejsem komunikacyjnym 485 (w standardzie z opcjonalnym oprogramowaniem)

4. Posiada funkcję zabezpieczenia przed awarią zasilania, tzn. przy włączeniu pieca po wyłączeniu zasilania program nie startuje od temperatury początkowej, lecz od temperatury pieca przy wyłączonym zasilaniu.

5. Miernik posiada funkcję samostrojenia temperatury

(trzeba dodatkowo zapłacić za wymianę importowanych instrumentów, opcjonalnie)

Instrument FP93 Instrument EUROTHERM Instrument z ekranem dotykowym

(shimaden, Japonia)

Materiał komory

1. Materiał paleniska wykonany jest z wysokiej jakości włókna polikrystalicznego tlenku glinu.

2. Powierzchnia pieca wewnętrznego pokryta jest importowaną powłoką z tlenku glinu o wysokiej temperaturze 1800 stopni, która może zwiększyć emisyjność i sprawić, że pole temperatury będzie bardziej zrównoważone.

Zawory i kołnierze

precyzja sterowania

+/- 1℃

spust

Wyzwalacz z przesunięciem fazowym

urządzenie elektryczne

Chint Zhejiang

kontrolowany silikonem

106/16E SEMIKRON

Maks. temp

1600 ℃

Temp. znamionowa

1550℃

szybkość ogrzewania

≤20 ℃/min (można modyfikować w razie potrzeby)

Zalecana szybkość ogrzewania

≤10 ℃/min

Model termopary

Typ B

Długość odcinka grzewczego

300 mm

Temperatura powierzchni otoczenia

≤45 ℃

System próżniowy

System próżniowy VS-0.1

System próżniowy VS-0.1 może uzyskać stopień próżni w rurze pieca rurowego do 0,1 Pa (i jest wyposażony w rezystancyjny wyświetlacz próżniomierza).

Z cyfrowym wyświetlaczem LED z zielonym ekranem.

Zastosuj pompę próżniową VRD16

VRD16	Pojęcie techniczne		Specyfikacja
VRD-16	Prędkość pompowaniam³/h (L/s)	50 Hz	16 m³/godz
			4,4 l/s
		60 Hz	19,2 m3/godz
			5,2 l/s
	Ograniczone ciśnienie cząstkowe - bez balastu gazowego (Pa)		4x10-2
	Ogranicz ciśnienie całkowite – bez balastu gazowego (Pa)		4x10-1
	Ograniczające ciśnienie całkowite - balast gazowy (Pa)		8x10-1
	zasilacz		Jednofazowy/trzyfazowy
	moc silnika (KW)		0,75 kW/0,55 kW
	Przyłącze wlotowe/wylotoweDN		KF25
	pojemność oleju		0,9-1,5 l
	prędkość silnika (obr./min)	50 Hz	1440 obr./min

System zasilania gazem

Układ zasilania gazem przepływomierza

Parametry techniczne:

l Kanał pneumatyczny: 6

l Pneumatyczna kontrola przepływu: użyj przepływomierza masowego.

l Rozmiar szafki: 600X600X600mm

l Z wyświetlaczem LED

l Parametry techniczne przepływomierza masowego:

Interfejs	Φ6
Wyświetlacz	PROWADZONY
Temperatura środowiska pracy	5 ~ 45 ℃
Kontroler przepływu	Używany jest regulator przepływu protonów, patrz tył
Rura ze stali nierdzewnej	Φ6 na zewnątrz X Φ4 wewnątrz
Tabela próżni ciśnieniowej	-0,1 ~ 0,15 MPa, 0,01 MPa/dz
Zawór odcinający	Φ6
Kontrola przepływu	Inteligentne sterowanie PLC

Parametry techniczne kontrolera przepływu masowego:

Opis produktu: Typ wspólny, obwód analogowy

Szczegółowy opis produktu: Zwykły typ, obwód analogowy, gumowa uszczelka, bocznik rurowy, niełatwy do zablokowania.

Główne wskaźniki:

Zakres	5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (możesz wybrać dowolny zakres) Proszę potwierdzić przy składaniu zamówienia
Dokładność	±1% pełnej skali
Liniowy	0,5% PS
Powtarzalność	±0,2% pełnej skali
Czas odpowiedzi	1S
Spadek ciśnienia powietrza	<0,01 MPa
Maksymalne ciśnienie	3MP
Temperatura środowiska pracy	5 ~ 45 ℃
Sygnał wejściowy i wyjściowy	0 ~ + 5,00 V
Zasilacz	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
Wymiary	15830110
Waga	0,9 kg

Konfiguracja systemu zasilania gazem:

Przepływomierz protonowy	6
Manometr mechaniczny (zakres -0,1~0,15 MPa)	1
Zawory kulowe ze stali nierdzewnej	6
Złącza przelotowe ze stali nierdzewnej	6
Złącza zaworów ze stali nierdzewnej	2
złącze butli ze stali nierdzewnej	6
Rurka teflonowa	30M
Zbiornik do mieszania gazu Dia80X140MM	1
Rama pieca	1 zestaw

Generatory RF / zasilacze RF

Główne parametry techniczne zasilacza RF:

Zakres mocy wyjściowej	0-500 W
Maksymalna moc odbita	200 W
częstotliwość robocza	RF: 13,56 MHz ± 0,005%
Stabilność mocy	+/-0,1%
Składnik harmoniczny	≤-50dbc
Szerokość obszaru RF	Regulacja w zakresie 0-600 mm
Pasujący sposób	automatyczny
Tryb chłodzenia	Punkty zimne
Hałas	<50dB
Interfejs częstotliwości radiowej	50Ω typu N
Moc wejściowa	208-240 V 50/60 Hz

Gwarancja

Roczna gwarancja i dożywotnia pomoc techniczna

Specjalna notatka:

1. Części eksploatacyjne takie jak elementy grzejne, rury pieca, tygle na próbki itp. nie są objęte okresem gwarancyjnym.

2. Uszkodzenia powstałe na skutek stosowania gazów żrących i kwaśnych nie podlegają gwarancji.

Środki ostrożności

1. Ciśnienie powietrza w rurze pieca nie powinno być wyższe niż 0,02 MPa

2. Ze względu na wysokie ciśnienie powietrza wewnątrz butli z gazem, podczas wprowadzania gazu do rury pieca na butli z gazem należy zainstalować ciśnieniowy zawór nadmiarowy. Ze względów bezpieczeństwa zaleca się stosowanie ciśnienia poniżej 0,02 MPa

3. Jeżeli rurą pieca jest rura korundowa, a temperatura korpusu pieca jest wyższa niż 1500 ℃, rura pieca nie powinna znajdować się w stanie próżni, a ciśnienie powietrza w rurze pieca powinno być równe ciśnieniu atmosferycznemu.

4. Przepływ gazu do rury pieca powinien być mniejszy niż 200 SCCM, aby uniknąć wpływu przepływu zimnego powietrza na gorącą rurę pieca

5. Na potrzeby eksperymentu z nagrzewaniem próbki nie zaleca się zamykania zaworu wylotowego i wlotowego na końcu kołnierza rury pieca. Jeśli zajdzie potrzeba zamknięcia zaworu gazowego w celu ogrzania próbki, należy zawsze zwracać uwagę na wskazania manometru. Jeśli ciśnienie jest wyższe niż 0,02 MPa, należy natychmiast otworzyć zawór wydechowy, aby zapobiec wypadkom (takim jak pęknięcie rury pieca, wysunięcie się kołnierza itp.).

6. Nie używaj tygli grafitowych w rurkach z tlenku glinu.

7. Elementu grzejnego MoSi2 nie należy używać w niskiej temperaturze (400℃-700℃) przez dłuższy czas, gdyż może to spowodować uszkodzenie elementu grzejnego.